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    真空系统简介

    2018-9-21 点击:

    真空系 统其实就是真空机组的一个类似的称呼,真空机 组是由几种真空泵组合而成的一套闭环真空设备,它不见 得有一些诸如散热器,冷凝器等等设备存在。而一般 能称为真空系统的肯定是各种零部件齐全。真空应 用设备种类繁多,但无论 何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在 真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真 空处理用的容器,用管道 和阀门将它与真空泵连接起来,当真空 泵对容器进行抽空时,容器上 要有真空测量装置,这就构 成了一个最简单的真空抽气系统。

      那么真 空系统相比较于机组来说有多少泵组成呢?这个是不确定的,先来认 识一下可能存在的泵的名词解释。

      (1)主泵:在真空系统中,用于获 得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空 镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

      (2)前级泵:用于维 持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨 泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

      (3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系 统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空 镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。

      (4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有 效地利用前级泵。为此配 置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散 泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。

      事实上 简单的真空系统只是能获得一个粗真空,而想要获得高真空时,通常在 真空系统中串联一个高真空泵,比如罗 茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联 一个高真空泵之后,通常要 在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高 真空泵能单独保持真空。如果所 串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防 止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在 油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。根据要求,还可以 在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀,散热器等等,这样就 构成了一个较完善的高真空系统。

     

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