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    干式无油真空泵原理

    2018-9-28 点击:

        无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵 能从大气压力下开始抽气,又能将 被抽气体直接排到大气中去,泵腔内 无油或其他工作介质,而且泵 的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。  

        目前,真空行 业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其 它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。

        随着科 学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的 机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:

        一是泵 的工作介质返流污染被抽容器,而这种 返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。

        其次,由于某 些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。  对于普 通的无油真空系统来说,虽然可 用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用 适当型式的干式机械真空泵,则可以 达到理想的使用效果。  

        干式机 械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面: 

     1)低压化 学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;  

    2)半导体刻蚀工艺。在这些 生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;  

    3)除半导 体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望 微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一 定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 

    4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止 有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 

    5)用做一 般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

        近年来,干式机 械真空泵得到迅速的发展,国外多 家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的 许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。

        目前,干式机 械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型 的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于 小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触 型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类 型的干式泵具有各自的特点。使用时 可根据不同的用途加以选择。

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